光学衍射光栅检测

检测项目

1.衍射效率：测量波长范围200-2500nm内1入射角下的各级次衍射效率偏差≤3%

2.周期精度：采用激光干涉法验证光栅周期误差≤0.05μm（500线/mm级）

3.槽形参数：原子力显微镜测量槽深精度5nm，侧壁角偏差≤0.5

4.波前畸变：Zygo干涉仪检测λ/10@632.8nm面形精度

5.环境稳定性：温度循环（-40℃~85℃）后衍射效率变化率≤1.5%

检测范围

1.全息光栅：包括平面/凹面全息光栅（300-2400线/mm）

2.刻划光栅：金属镀层（金/铝）刻划式反射光栅

3.体相位光栅：熔融石英基体Bragg光栅

4.纳米压印光栅：聚合物基微结构衍射元件

5.二元光学元件：8阶以上相位型衍射光学器件

检测方法

1.ASTME903-20：光谱反射率/透射率积分球测试法

2.ISO10110-5:2015：光学元件表面缺陷评估标准

3.GB/T13323-2009：衍射光栅测试方法国家标准

4.ISO14999-4:2015：光学相位测量干涉法

5.GB/T18311.3-2001：光纤器件用光栅环境试验规范

检测设备

1.PerkinElmerLambda1050双光束分光光度计（200-3300nm波长范围）

2.ZygoVerifireMST激光干涉仪（632.8nm波长，λ/100精度）

3.BrukerDimensionIcon原子力显微镜（0.1nm垂直分辨率）

4.Newport自动旋转台系统（角度分辨率0.001）

5.ThermoScientificARLEQUINOX3000X射线衍射仪（晶格常数分析）

6.Keysight5500激光干涉显微镜（三维形貌重建）

7.EspecSH-642恒温恒湿箱（-70℃~150℃温控）

8.OceanInsightQEPro光谱仪（200-1100nm快速光谱采集）

9.RenishawinVia显微拉曼系统（材料组分分析）

10.HamamatsuC13340激光功率计（nW级功率测量精度）