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点阵平面检测

作者:小编 更新时间:2025-04-27 点击数:

点阵平面检测.jpeg

检测项目

1. 平面度误差:测量范围±0.02mm~±5μm(依据ISO 12781标准)

2. 点阵间距精度:分辨率0.1μm(按GB/T 11336-2008要求)

3. 表面粗糙度:Ra 0.05-6.3μm(参照ISO 4287:1997)

4. 角度偏差:测量精度±0.005°(基于ASTM E2934规范)

5. 微观形貌三维重构:Z轴分辨率10nm(符合ISO 25178-2标准)

检测范围

1. 碳纤维增强复合材料层压板

2. 金属增材制造多孔结构件

3. PCB微孔阵列基板

4. MEMS器件微结构表面

5. 光学衍射元件周期结构

检测方法

1. 白光干涉法:依据ISO 25178-604:2013进行亚微米级形貌分析

2. 激光共聚焦扫描:执行GB/T 33523-2017规定的三维重构

3. 坐标测量机(CMM)检测:满足ASME B89.4.1-2006标准要求

4. X射线断层扫描:参照ASTM E1570-19进行内部结构验证

5. 数字图像相关法(DIC):按ISO 21309:2019实施全场应变分析

检测设备

1. Keyence VR-6000三维轮廓仪:配备20倍物镜,Z轴分辨率10nm

2. Zeiss O-INSPECT 322复合式测量机:集成接触式探针与光学传感器

3. Bruker ContourGT-X8白光干涉仪:支持100×100mm测量范围

4. Nikon XT H 450工业CT系统:空间分辨率3μm@200kV

5. Mitutoyo Crysta-Apex S系列CMM:最大允许误差(MPE)1.8+L/300μm

6. Olympus LEXT OLS5000激光显微镜:支持408nm波长激光扫描

7. Hexagon Absolute Arm 7轴测量臂:配备RPS激光扫描模块

8. GOM ATOS Q三维扫描仪:双蓝光投影技术,精度±0.009mm/m

9. Renishaw REVO五轴测量系统:集成表面粗糙度检测功能

10. Alicona InfiniteFocus G5变焦显微镜:轴向分辨率10nm

Tag: 点阵平面检测 检测机构 第三方检测 科研检测 光学检测 影音画面检测
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